產品介紹

精密刻蝕鍍膜系統PECS II 685

品牌： GATAN

名稱型號：精密(mi)刻蝕鍍(du)膜系統(tong)PECS II 685

制造(zao)商： 美國(guo)GATAN公司

經銷商：歐(ou)波同有限公司

產品綜合介紹：

產品功能介紹
Gatan公司的精密刻(ke)蝕鍍(du)膜儀 (PECS™) II 是一款桌面型(xing)寬(kuan)束氬離(li)子(zi)拋(pao)光及(ji)鍍(du)膜設備。對于同一個樣(yang)品，可在同一真空環境(jing)下完(wan)成拋(pao)光及(ji)鍍(du)膜。

精密刻蝕鍍膜系統PECS II 685產品主要技術特點：

精密刻蝕鍍膜儀 (PECS™) II，采用兩個寬束氬離子束對樣品表面進行拋光，去除損失層，從而得到高質量的樣品，用于在SEM、光鏡或者掃描電子探針上進行成像、EDS，EBSD，CL，EBIC或者其他分析，另外將這兩支離子槍對準靶材濺射，可用來對樣品做導電金屬膜沉積處理，以防止樣品在電鏡中發生荷電效應。
這款儀器被(bei)設計為不破壞真空，不將樣(yang)(yang)(yang)品(pin)新鮮表面(mian)暴露在大氣(qi)中，即可對拋光(guang)樣(yang)(yang)(yang)品(pin)進行處理。樣(yang)(yang)(yang)品(pin)的裝(zhuang)卸是通(tong)過一個專門(men)設計的裝(zhuang)樣(yang)(yang)(yang)工具在真空交換艙中完成。

兩支具有更大電壓范圍的小型潘寧離子槍，可提供快速柔和的拋光效果。低至100eV的離子束提供更柔和的拋削效果，用于樣品的終ji拋光。低能聚焦電極使得離子束的直徑在幾乎整個加速電壓范圍內都保持一致。每個離子槍都能準確獨立地進行對中。在儀器運行過程中，離子槍的角度可隨時進行調整。離子槍的氣流可在觸摸屏上通過手動方式或者自動方式進行調整， 用于優化離子槍的工作電流。
PECS II樣(yang)品臺(tai)采用液(ye)氮制冷方式。可(ke)以(yi)有效的保護樣(yang)品，避免離子(zi)束(shu)熱損(sun)傷，消除可(ke)能的假(jia)象。

集成的10英寸彩色觸摸屏計算機可對PECS II系統的所有操作參數進行*控制。此界面不僅可以設定所有參數并能夠監控拋光過程。所有的操作參數還可以存為配方，調用配方可獲得高精度重復實驗。
渦輪分子泵(beng)搭配兩級隔膜泵(beng)保(bao)證(zheng)了(le)超潔凈環境。通過Gatan的樣(yang)(yang)品(pin)裝(zhuang)卸工(gong)具能(neng)(neng)實現快速樣(yang)(yang)品(pin)交換（< 1min），這樣(yang)(yang)就能(neng)(neng)保(bao)證(zheng)換樣(yang)(yang)過程中加工(gong)艙室(shi)始終(zhong)處在高真空狀(zhuang)態(tai)。